深紫外域で連続コヒーレント光を得るには、非線形光学による波長変換を行うことが必要です。 私達は、波長変換効率を飛躍的に向上させる手法を考案し、アルゴンレーザーをもとにして、波長257nm、 出力6Wの連続コヒーレント光の発生に成功しています。 この出力は世界記録であり、分析や計測のみならずリソグラフィ、加工などにも十分応用できる強さです。

また、長時間安定に動作可能な装置や、より低電力動作可能な半導体 レーザーをもとにした装置の開発も行っています。

外部共振器内でのYAGレーザの4倍高調波発生

液晶ディスプレイではいかに液晶分子の配向を制御するかが重要なポイントとなります。 通常はガラス基板の液晶分子と接する面に コーティングした有機膜表面を機械的に処理してこれを実現しますが、 この高出力コヒーレント紫外光を利用し、光学的な処理を施すだけで 同様の効果が得られることを示しました。 この他にも、紫外光は液晶ディスプレイの様々な加工分野に応用可能です。

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